四川流量型蠕動(dòng)泵廠商
發(fā)布時(shí)間：2023-05-02 01:34:15
四川流量型蠕動(dòng)泵廠商
高精密蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。高精度蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境。對(duì)于CMP，它提供了在拋光過(guò)程中向芯片分配點(diǎn)漿料所需的線性和重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，通過(guò)變速操作，可以在大范圍的操作范圍內(nèi)控制流量，保持過(guò)程的完整性。能實(shí)現(xiàn)漿料性能的圓片平整度、高精度蠕動(dòng)泵通過(guò)控制料漿的輸送和分布，有助于實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。高精度蠕動(dòng)泵的無(wú)創(chuàng)設(shè)計(jì)提供了直線流動(dòng)路徑，沒有冷凝、固化和污染漿液的死流區(qū)域。流速達(dá)到0.5%。通過(guò)穩(wěn)定的流體輸送，漿液不僅可以繼續(xù)流向拋光墊，還可以減少漿料、化學(xué)物質(zhì)和去離子水的浪費(fèi)。
四川流量型蠕動(dòng)泵廠商
蠕動(dòng)泵的優(yōu)點(diǎn)1、液體僅接觸軟管，不接觸泵體，方便清洗，更換軟管方便；2、低能耗：有自吸、單向閥能力；3、傳輸好：分裝精度可達(dá)到1%～0.5%；4、低剪切：可泵送剪切液體及溶劑，可輸送含固流體；5、密封性好：具有良好的自吸能力，可空轉(zhuǎn)，可防止回流；6、易維護(hù)：快速插接,無(wú)閥門和密封件，軟管是易損件；7、具有雙向同等流量輸送能力；8、無(wú)液體空運(yùn)轉(zhuǎn)情況下不會(huì)對(duì)泵有影響；9、沒有閥、機(jī)械密封和填料密封裝置，也就沒有這些產(chǎn)生泄露和維護(hù)的因素；10、能輕松的輸送液提或氣液混合相流體。
四川流量型蠕動(dòng)泵廠商
一般情況下，蠕動(dòng)泵所設(shè)置的出廠空氣壓力在0.15MPa左右，如果液體揚(yáng)程不超過(guò)15米，那么揚(yáng)程的變化量對(duì)蠕動(dòng)泵流速的影響是很微小的，基本可以忽略不計(jì)。這是因?yàn)閺娜鋭?dòng)泵的運(yùn)行原理上來(lái)說(shuō)，蠕動(dòng)泵也是一種容積泵類產(chǎn)品，并且一款合格的蠕動(dòng)泵泵頭可以在其所設(shè)定壓力內(nèi)任意位置截止液體，只要出口處液體壓力不超過(guò)蠕動(dòng)泵泵頭所設(shè)定的上限壓力，那么所傳輸?shù)囊后w就肯定不會(huì)有回流的現(xiàn)象存在，蠕動(dòng)泵的流速就是穩(wěn)定的。如果出口處壓力超過(guò)了蠕動(dòng)泵泵頭所設(shè)定的較高壓力，那么傳輸?shù)囊后w就會(huì)有回流的現(xiàn)象存在，造成流速的下降。
四川流量型蠕動(dòng)泵廠商
蠕動(dòng)泵硅膠管的壽命變短原因：1、檢查泵的轉(zhuǎn)速，是否轉(zhuǎn)速過(guò)高，導(dǎo)致硅膠管被過(guò)于頻繁的擠壓，沒有適當(dāng)恢復(fù)的時(shí)間，從而縮短了軟管的使用壽命。2、工業(yè)蠕動(dòng)泵長(zhǎng)期不使用，沒有定期轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)致軟管在某處被擠壓很久。注意：1、建議選根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)要求流量，來(lái)選擇合適的轉(zhuǎn)速，以提高軟管的使用壽命，而不是人為選擇小尺寸，這將導(dǎo)致后期頻繁更換軟管。2、如果長(zhǎng)時(shí)間不使用，建議拆下軟管。3、建議蠕動(dòng)泵停機(jī)后，及時(shí)清洗管道和軟管。(可以用清水順時(shí)針或逆時(shí)針運(yùn)轉(zhuǎn)兩三分鐘清洗)。